产品说明: 为具有强刺激性窒息气味的黄绿色有毒气体。主要应用于硅的氧化膜形成、氧化、化学气相淀积、火箭推进剂、标准气、校正气、大气监测标准混合气。

注意事项: 发生泄漏时，应迅速撤离泄漏污染区人员至上风处，并隔离直至气体散尽，建议应急处理人员戴正压自给式呼吸器，穿厂商特别推荐的化学防护服(完全隔离)。勿使泄漏物与可燃物质(木材、纸、油等)接触，切断气源，喷雾状水稀释、溶解，然后抽排(室内)或强力通风(室外)。漏气容器不能再用，且要经过技术处理以清除可能剩下的气体。